Filtrasi Kemurnian Tinggi untuk Manufaktur Semikonduktor Ultra-Bersih
Keterangan
Filter Gas Aliran Tinggi – Dirancang khusus untuk filtrasi gas proses dengan kemurnian ultra tinggi dalam manufaktur semikonduktor. Dibuat dengan presisi dari baja tahan karat 316L, filter ini memiliki desain media multi-kolom atau cakram bertumpuk untuk memastikan resistansi rendah pada laju aliran tinggi, dengan akurasi filtrasi mencapai 0,003μm untuk memenuhi persyaratan kemurnian ultra tinggi. Konstruksi seluruhnya dari logam menjadikannya solusi filtrasi ideal untuk lingkungan dinamis suhu tinggi.
Fitur Produk
▶Seluruh struktur terbuat dari baja tahan karat 316L.— Menjamin daya tahan dan ketahanan terhadap korosi.
▶Laju Aliran Tinggi, Hambatan Rendah— Dioptimalkan untuk aliran tinggi dengan kehilangan tekanan minimal.
▶Efisiensi Retensi Partikel Ultra Tinggi— Sangat baik untuk menjaga kondisi ultra-murni.
▶Tahan terhadap Suhu Tinggi, Tekanan, dan Korosi— Cocok untuk lingkungan yang keras.
▶Kompatibel dengan Berbagai Gas Proses— Serbaguna untuk berbagai aplikasi industri.
▶Ideal untuk Manufaktur, Pengujian, dan Pengemasan di Ruang Bersih— Sangat cocok untuk digunakan di lingkungan yang terkontrol.
▶Pengujian Integritas 100%— Setiap filter menjalani pengujian integritas komprehensif untuk jaminan kualitas.
▶Pengujian Kebocoran Helium 100%— Terverifikasi melalui pengujian kebocoran helium untuk memastikan keandalan dalam aplikasi kritis.
Lembar Data
Parameter Teknis
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Bahan Elemen Filter | Baja tahan karat 316L yang disinter bubuk |
| Bahan Perumahan | baja tahan karat 316L |
| Tekanan Masuk Maksimum | 207 bar |
| Tekanan Diferensial Operasi Maksimum | 5,2 bar |
| Tingkat Kebocoran Validasi Helium | 2 x 10⁻¹⁰ cc/menit |
| Tingkat Kebocoran Pengujian Helium | 1 x 10⁻¹⁰ cc/menit |
| Perawatan Permukaan | |
| Permukaan Luar | Ra < 1,6 μm |
| Permukaan Bagian Dalam | Ra < 0,2 μm |
| Suhu Operasi Maksimum | |
| Gas Inert | 400-500℃ |
| Gas Korosif & Reaktif | 50℃ |
| Efisiensi Retensi Partikel | ≥99.9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Kebersihan Hilir | ≤0,03 partikel/liter @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Ukuran Retensi Partikel | ≥0,003 μm |
Ukuran
Berikut nomor komponen yang dapat Anda pesan dan detail ukurannya:
| Model Produk | Bahan Elemen Filter | Akurasi Filtrasi (μm) | Jenis Koneksi |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Baja Tahan Karat 316L | 10~0,003 | 1/4 inci |
| Z01B-00648 | Baja Tahan Karat 316L | 10~0,003 | 1/2 inci |
| Z01B-00649 | Baja Tahan Karat 316L | 10~0,003 | 1/8 inci |
| Z01B-00650 | Baja Tahan Karat 316L | 10~0,003 | 1” |
| Dapat disesuaikan | Baja Tahan Karat 316L | 10~0,003 | Sesuai Kebutuhan |
Aplikasi Umum
beberapa aplikasi tipikal dariFilter Massal dan Utilitas dengan Kemurnian TinggiDanFilter Aliran Gas di Area Pemasangan Gas:
1. Manufaktur Semikonduktor
*Memastikan pasokan gas ultra-murni untuk proses fabrikasi wafer, etsa, dan deposisi uap kimia (CVD).
*Mempertahankan kemurnian tinggi dalam sistem distribusi gas massal untuk nitrogen, argon, dan gas pembawa lainnya.
2. Produksi Farmasi
*Menyediakan gas steril dan bebas partikel untuk lingkungan manufaktur yang kritis.
*Mendukung filtrasi kemurnian tinggi untuk ruang bersih dan lingkungan terkontrol guna menjaga integritas produk.
3. Sistem Gas Laboratorium
*Digunakan di lingkungan laboratorium untuk memurnikan aliran gas dalam peralatan analitik seperti kromatografi gas dan spektrometri massa.
*Memastikan gas dengan kemurnian tinggi untuk aplikasi penelitian dan pengujian, melindungi instrumen sensitif.
4. Pengolahan Makanan dan Minuman
*Menyaring CO₂ dan gas lain yang digunakan dalam karbonasi, pengemasan, dan penyimpanan, menjaga keamanan dan kualitas makanan.
*Memastikan pasokan gas bebas kontaminasi di pabrik pengolahan, khususnya untuk utilitas gas massal.
5. Industri Minyak dan Gas
*Memurnikan aliran gas alam dalam filtrasi bantalan gas, menghilangkan kontaminan sebelum penyimpanan atau pengangkutan.
*Melindungi peralatan hilir dengan menghilangkan partikel, kelembapan, dan kotoran dalam sistem aliran gas bertekanan tinggi.
6. Manufaktur Kimia
*Menyaring gas-gas utilitas seperti nitrogen dan argon yang digunakan dalam sintesis dan reaksi kimia.
*Menjaga kemurnian gas untuk mencegah kontaminasi dan ketidaksesuaian reaksi.
7. Dirgantara dan Pertahanan
*Menghasilkan gas dengan kemurnian tinggi di lingkungan manufaktur dan pengujian untuk material dan komponen kedirgantaraan.
*Memastikan kemurnian gas yang konsisten dalam lingkungan terkontrol untuk perakitan pesawat terbang dan peralatan pertahanan.
8. Produksi Energi (Pembangkit Listrik)
*Menyaring gas bertekanan tinggi untuk aplikasi pendinginan dan proses, terutama di lingkungan suhu tinggi.
*Meningkatkan efisiensi dan mengurangi keausan peralatan dengan mencegah kontaminasi pada sistem pendinginan dan aliran gas.
Ini fFilter sangat penting dalam setiap aplikasi yang membutuhkan aliran gas yang bersih dan konsisten, sehingga meningkatkan perlindungan peralatan.
efisiensi proses, dan kualitas produk akhir di berbagai industri.
Kirim pesan Anda kepada kami:
