Filter Gas Semikonduktor:
Memastikan Kemurnian Gas Sempurna dalam Pembuatan Chip
Dalam dunia manufaktur semikonduktor yang rumit, yang mengutamakan presisi dan kemurnian, kualitas
gas yang digunakan memainkan peran penting dalam menentukan keberhasilan proses. Kotoran, bahkan pada tingkat yang sangat kecil,
dapat mendatangkan malapetaka pada sirkuit mikrochip yang rumit, menjadikannya rusak dan tidak dapat digunakan. Untuk menjaga
Dalam proses penting ini, filter gas semikonduktor bertindak sebagai pelindung yang pantang menyerah, dengan cermat menghilangkan kontaminan
dan memastikan kualitas murni gas yang mengalir melalui jalur produksi.
Ada banyak fitur dan keunggulan unggulan dari filter logam sinter
1. Dibuat di Lingkungan Cleanroom yang Canggih
Filter ini diciptakan dalam ruang bersih yang canggih, sebuah lingkungan di mana kondisi sempurna dijaga dengan cermat untuk meminimalkan potensi kontaminasi. Mereka menjalani proses produksi yang ketat, dimulai dengan pengelasan presisi di bawah atmosfer udara yang dimurnikan. Pembilasan air deionisasi berikutnya, diikuti dengan pembersihan nitrogen bertekanan tinggi dan terfilter, menghilangkan partikel yang tertinggal dan mengurangi risiko pelepasan partikel.
2. Efisiensi Penghapusan Partikel yang Luar Biasa
Dengan efisiensi filtrasi luar biasa sebesar 9 LRV untuk partikel berukuran 0,003μm, mematuhi standar ketat yang ditetapkan oleh metode pengujian SEMI F38 dan ISO 12500, filter ini secara efektif menghilangkan partikel yang menimbulkan korosi dan partikel yang dihasilkan dari bagian yang bergerak, memastikan kemurnian murni dari partikel tersebut. gas.
3. Kekuatan Mekanik Unggul
Diuji secara ketat untuk menjamin ketahanan luar biasa dalam proses produksi yang menuntut dan lingkungan yang sering kali menggunakan tekanan gas tinggi, filter ini memberikan kinerja yang tak tergoyahkan sepanjang masa pakainya.
4. Melebihi Standar Industri Tertinggi
Melampaui persyaratan filtrasi penanganan gas yang ketat untuk pemrosesan semikonduktor, filter ini menjalani pengujian ketat untuk menjamin filter tersebut memenuhi efisiensi filtrasi kritis, kontrol aliran presisi, dan standar keselamatan yang diminta oleh sistem pengiriman gas dalam manufaktur semikonduktor.
5. Komitmen yang Tak Tergoyahkan terhadap Keselamatan
Untuk melindungi dari paparan gas proses yang mudah terbakar, korosif, beracun, dan piroforik, rumah filter menjalani pengujian kebocoran yang cermat, memastikan tingkat kebocoran yang luar biasa mencapai kurang dari 1x10-9 atm scc/detik. Komitmen yang teguh terhadap keselamatan memastikan bahwa gas-gas berbahaya dapat dibendung dan dicegah agar tidak menimbulkan bahaya.
6. Kemurnian Tanpa Kompromi untuk Keunggulan Pembuatan Chip
Melalui kemampuan filtrasinya yang luar biasa, komitmen teguh terhadap keselamatan, dan kepatuhan terhadap standar industri tertinggi, filter gas ini memainkan peran penting dalam menjaga proses rumit manufaktur semikonduktor. Mereka berperan sebagai penjaga kemurnian, memastikan bahwa hanya gas terbersih yang mengalir melalui jalur produksi, membuka jalan bagi penciptaan microchip berkinerja tinggi yang menggerakkan dunia modern kita.
Jenis Filter Semikonduktor
Filter semikonduktor digunakan dalam berbagai aplikasi, termasuk:
* Manufaktur elektronik:
Filter semikonduktor digunakan untuk menghilangkan partikel dari air ultra murni, gas, dan bahan kimia yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor.
* Planarisasi mekanis kimia (CMP):
Filter semikonduktor digunakan untuk menghilangkan partikel dari bubur CMP, yang digunakan untuk memoles wafer semikonduktor.
* Biomedis:
Filter semikonduktor digunakan untuk menghilangkan partikel dari cairan yang digunakan dalam diagnostik dan perawatan medis.
* Lingkungan:
Filter semikonduktor digunakan untuk menghilangkan partikel dari udara dan air.
Ada empat jenis utama filter semikonduktor:
1. Filter membran:
Filter membran terbuat dari film tipis berpori yang memungkinkan cairan melewatinya sambil menjebak partikel.
2. Filter kedalaman:
Filter kedalaman terbuat dari bahan tebal dan berliku-liku yang memerangkap partikel saat mengalir melalui filter.
3. Filter adsorben:
Filter adsorben terbuat dari bahan yang menarik dan menahan partikel.
4. Filter logam sinter
Filter logam sinter adalah jenis filter kedalaman yang biasa digunakan dalam pembuatan semikonduktor. Mereka dibuat dengan menyinter bubuk logam halus ke dalam struktur berpori. Filter logam sinter dikenal karena daya tahannya yang tinggi, efisiensi filtrasi yang tinggi, dan kemampuannya menahan suhu dan tekanan tinggi.
Keuntungan filter logam sinter untuk pembuatan semikonduktor:
* Daya tahan tinggi:
* Efisiensi filtrasi tinggi:
* Umur panjang:
* Kompatibilitas kimia:
Aplikasi filter logam sinter dalam pembuatan semikonduktor:
* Pemurnian gas:
Filter logam sinter adalah bagian penting dari proses manufaktur semikonduktor, membantu memastikan produksi perangkat semikonduktor berkualitas tinggi.
Jenis filter semikonduktor yang digunakan dalam aplikasi tertentu bergantung pada ukuran partikel yang dihilangkan, jenis cairan yang disaring, dan tingkat filtrasi yang diinginkan.
Berikut adalah tabel yang merangkum berbagai jenis filter semikonduktor:
Tipe Penyaring | Keterangan | Aplikasi | Gambar |
---|---|---|---|
Filter membran | Terbuat dari film tipis berpori yang memungkinkan cairan melewatinya sambil menjebak partikel. | Manufaktur elektronik, CMP, biomedis, lingkungan | |
Filter kedalaman | Terbuat dari bahan tebal dan berliku-liku yang memerangkap partikel saat mengalir melalui filter. | CMP, biomedis, lingkungan | |
Filter adsorben | Terbuat dari bahan yang menarik dan menahan partikel. | Manufaktur elektronik, CMP, biomedis, lingkungan | |
Filter logam sinter | Dibuat dengan menyinter bubuk logam halus menjadi struktur berpori. | Pemurnian gas, filtrasi kimia, filtrasi air ultra murni, filtrasi bubur CMP | Filter logam sinter untuk semikonduktor |
Aplikasi
Filter gas semikonduktor logam sinter banyak digunakan dalam berbagai aplikasi di industri semikonduktor. Sifat uniknya, seperti efisiensi filtrasi yang tinggi, daya tahan, dan kemampuan menahan suhu dan tekanan tinggi, menjadikannya komponen penting dalam sistem pengiriman gas dalam manufaktur semikonduktor.
Berikut adalah beberapa aplikasi spesifik filter gas semikonduktor logam sinter:
1. Produksi wafer:
Filter logam sinter digunakan untuk memurnikan gas yang digunakan dalam produksi wafer, seperti nitrogen, hidrogen, dan oksigen. Gas-gas ini penting untuk proses seperti pertumbuhan epitaksial, etsa, dan doping.
2. Filtrasi kimia:
Filter logam sinter digunakan untuk menyaring bahan kimia yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor, seperti asam, basa, dan pelarut. Bahan kimia ini digunakan untuk berbagai tujuan, termasuk pembersihan, pengetsaan, dan pemolesan.
3. Penyaringan air ultra murni:
Filter logam sinter digunakan untuk menyaring air ultra murni (UPW) yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor. UPW penting untuk membersihkan dan membilas wafer, serta menyiapkan bahan kimia.
4. Filtrasi bubur CMP:
Filter logam sinter digunakan untuk menyaring bubur CMP, yang digunakan untuk memoles wafer semikonduktor. CMP adalah proses penting dalam pembuatan microchip.
5. Filtrasi titik penggunaan (POU):
Filter logam sinter sering digunakan sebagai filter POU, yang dipasang langsung di tempat penggunaan untuk memberikan tingkat filtrasi tertinggi. Filter POU sangat penting untuk aplikasi yang mengutamakan kemurnian gas, seperti dalam pembuatan mikroprosesor dan perangkat berkinerja tinggi lainnya.
6. Penanganan gas dengan kemurnian tinggi:
Filter logam sinter digunakan dalam sistem penanganan gas dengan kemurnian tinggi untuk menghilangkan kontaminan dari gas yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor. Kontaminan ini dapat mencakup partikel, kelembapan, dan senyawa organik.
7. Manufaktur mikroelektronika:
Filter logam sinter digunakan dalam pembuatan mikroelektronika, seperti komputer, tablet, ponsel, sensor IoT, dan perangkat kontrol.
8. Filtrasi sistem mikro-elektromekanis (MEMS):
Filter logam sinter digunakan dalam filtrasi MEMS, yang merupakan proses menghilangkan kontaminan dari sistem mikro-elektromekanis. MEMS digunakan dalam berbagai aplikasi, termasuk sensor, aktuator, dan transduser.
9. Filtrasi perangkat penyimpanan data:
Filter logam sinter digunakan dalam penyaringan perangkat penyimpanan data, yang merupakan proses menghilangkan kontaminan dari perangkat penyimpanan data, seperti hard drive dan solid-state drive.
Selain aplikasi spesifik ini, filter gas semikonduktor logam sinter juga digunakan dalam berbagai aplikasi lain di industri semikonduktor. Fleksibilitas dan keandalannya menjadikannya alat penting bagi produsen semikonduktor.
Mencari filter gas semikonduktor logam sinter berkualitas tinggi?
HENGKO adalah mitra pilihan Anda untuk solusi OEM dalam sistem manufaktur semikonduktor.
Filter kami yang dirancang secara presisi memastikan keandalan dan efisiensi dalam proses Anda, memberi Anda keunggulan dalam pasar yang kompetitif.
Mengapa Memilih Filter HENGKO?
* Kualitas unggul dan daya tahan
* Solusi khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik Anda
* Peningkatan kinerja untuk manufaktur semikonduktor
Jangan biarkan tantangan filtrasi menghambat produksi Anda.
Hubungi kami hari ini untuk mengetahui bagaimana filter logam sinter kami dapat merevolusi sistem manufaktur Anda.
Hubungi kami dika@hengko.com
Bermitra dengan HENGKO dan ambil langkah menuju keunggulan dalam manufaktur semikonduktor!