Sensor Suhu dan Kelembaban untuk Skema Kontrol Kelembaban Suhu Ruang Semikonduktor Bersih
Pertunjukan Produk
SuhudanKelembaban ruang bersih terutama ditentukan sesuai dengan persyaratan proses, tetapi dalam kondisi memenuhi persyaratan proses, rasa nyaman harus diperhitungkan.Dengan peningkatan persyaratan kebersihan udara, ada kecenderungan persyaratan suhu dan kelembaban yang semakin ketat.
Karena akurasi pemrosesan semakin baik, maka kisaran fluktuasi suhu semakin berkurang.Misalnya, dalam proses pemaparan litograf produksi sirkuit terpadu skala besar, perbedaan koefisien muai panas antara kaca dan wafer silikon sebagai bahan penutup harus semakin kecil.Wafer silikon berdiameter 100 um, kenaikan suhu 1 derajat, akan menyebabkan pemuaian linier 0,24um, jadi harus ada suhu ± 0,1 derajat, pada saat yang sama nilai kelembapan umumnya rendah, karena orang berkeringat, produk akan tercemar, terutama bengkel semikonduktor natrium, bengkel ini tidak boleh melebihi 25 derajat.
Kelembaban yang tinggi menyebabkan lebih banyak masalah.Ketika kelembaban relatif melebihi 55%, embun akan terbentuk di dinding pipa air pendingin, yang akan menyebabkan berbagai kecelakaan jika terjadi di perangkat atau sirkuit presisi.Ketika kelembaban relatif 50%, mudah berkarat.Selain itu, ketika kelembapan terlalu tinggi, debu yang menempel di permukaan chip silikon akan terserap secara kimiawi di permukaan untuk menahan pelepasan.Semakin tinggi kelembaban relatif, adhesi sulit dihilangkan, tetapi ketika kelembaban relatif lebih rendah dari 30%, partikel mudah teradsorpsi di permukaan karena aksi gaya elektrostatik, dan sejumlah besar perangkat semikonduktor. rawan rusak.Kisaran suhu optimum untuk produksi wafer adalah 35-45%.
Oleh karena itu, kontrol suhu dan kelembapan sangat penting, HENGKO dapat memberi Anda serangkaiansolusi pemrosesan khusus pemancar suhu dan kelembaban!
Sensor Suhu dan Kelembaban untuk Skema Kontrol Kelembaban Suhu Ruang Semikonduktor Bersih
Tidak dapat menemukan produk yang memenuhi kebutuhan Anda?Hubungi staf penjualan kami untukLayanan kustomisasi OEM/ODM! 
