Filter Segel C Pemasangan Permukaan IGS Berkinerja Tinggi untuk Sistem Pengiriman Gas Semikonduktor

Deskripsi Singkat:

Merek:HENGKO

Nama Filter:Filter Segel C Pemasangan Permukaan IGS

Bahan:SS 316L

Laju aliran:10 ~ 120 SLPM

Suhu operasi maksimum:460° C

Ukuran penghilangan partikel:> 0,003 μm

Kirim email kepada kami Kembali ke Sub-Kategori

Detail Produk

Label Produk

Keterangan

Filter Pemasangan Permukaan HENGKO dirancang untuk memenuhi persyaratan ketat sistem gas terintegrasi yang digunakan dalam peralatan OEM semikonduktor. Menawarkan filtrasi terdepan di industri pada 0,003 µm, filter ini memastikan kinerja dan keandalan yang luar biasa dengan efisiensi intersepsi partikel ≥99,9999999% (9-LRV) pada 120 slpm.

Dibuat dari baja tahan karat 316L yang kokoh dan disinter menggunakan bubuk untuk elemen filter dan wadahnya, filter ini sesuai dengan spesifikasi SEMI F86-0304, menampilkan komponen dua port yang dirancang khusus untuk sistem distribusi gas 1,125” dengan konfigurasi segel C. Filter ini mendukung tekanan masuk maksimum 3,4 MPa pada 100°C dan perbedaan tekanan operasi maksimum 0,69 MPa pada 100°C.

Filter khusus ini, yang kompatibel dengan spesifikasi segel tipe C dan tipe W, mencapai kebersihan hilir dengan pelepasan partikel.

Dengan hasil akhir permukaan Ra< 1,6 µm di bagian luar dan RaDengan ukuran partikel kurang dari 0,13 µm di bagian dalamnya, filter ini dirancang untuk tahan terhadap suhu tinggi hingga 460°C. Direkayasa untuk integrasi yang mudah dan peningkatan desain modular, filter ini menyederhanakan instalasi dan perawatan, membantu mengoptimalkan kinerja sistem dalam aplikasi pengiriman dan kontrol gas semikonduktor.

Fitur Produk

▶ Konstruksi keseluruhan dari baja tahan karat 316L
▶ Desain miniatur, struktur kompak, hemat ruang
▶ Karakteristik penggantian dan desorpsi gas yang sangat baik
▶ Tahan suhu tinggi, tekanan tinggi, dan korosi
▶ Casing baja tahan karat 316L yang dipoles secara elektrolitik
▶ Pemasangan dan perawatan yang mudah dan efisien
▶ Penyegelan mekanis, secara struktural tidak dilas ke media.

Filter Segel C Pemasangan Permukaan IGS Berkinerja Tinggi untuk Sistem Pengiriman Gas Semikonduktor

Lembar Data

Parameter Teknis	Nilai-nilai
Bahan Elemen Filter	Bubuk Sinter Baja Tahan Karat 316L
Bahan Perumahan	Baja Tahan Karat 316L
Tekanan Masuk Maksimum	3,4 MPa @ 100°C
Perbedaan Operasional Maksimum	0,69 MPa @ 100°C
Tingkat Kebocoran Verifikasi Helium	1x10⁻¹¹ cc/menit
Tingkat Kebocoran Uji Helium	1x10⁻⁹ cc/menit
Perawatan Permukaan	Permukaan Luar Ra< 1,6 μm
	Permukaan Dalam Ra< 0,13 μm
Suhu Operasi Maksimum	460°C
Efisiensi Pencegahan Partikel	≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Referensi MPPS, semua partikel)
Kebersihan Hilir	Pelepasan Partikel:< 0,03 partikel/liter (< 1 partikel/ft³)
	Senyawa volatil:Kelembapan < 10 ppb
Ukuran Intersepsi Partikel	≥0,003 μm
Rentang Aliran	0 ~ 120 slpm